キャノントッキの Micro OLED 蒸着装置への新たな展開
· UBIResearchNet · 映像
解説 ：占部哲夫（ UBI Research )
聞き手：服部 寿（ 分析工房 )
UBIリサーチ：https://www.bunsekik.com/ubiリサーチ
内容
・SID2026 でのCanon Tokkiの発表
・OLED のフルカラー化手法
・蒸着用マスクの高精細化
・高精細電鋳マスクを用いた蒸着装置の開発
・リソグラフィー（eLEAPなど)によるRGB S/S OLED の製法