キャノン・トッキ、世界初の12インチ解像度マイクロOLED用蒸着装置開発

韓国と中国では4.5G～6Gサイズの量産用蒸着装置として、Cannon Tokki製の装置がほぼ独占的に使用されている。しかし、8.5G以上の大型蒸着装置はSunik SystemsとYAS製の装置が主に使用されており、200mm以下の小型蒸着装置については、Sunik Systemsがほぼ独占状態にある。ウェハー上に製造されるmicro-OLEDは200mm以下クラスであるため、この市場においてもSunik Systemsの市場シェアが過半数を占めているとされている。

ARやMRに使用されるマイクロOLEDにはホワイトOLED＋CF構造とRGB構造の2種類がある。高解像度のマイクロOLEDではRGB OLEDが主流となっている。マイクロOLEDは0.5～2インチのサイズであり、3,000ppi以上の解像度が求められるため、±1μmの高精度なアライン仕様が要求される。

キャノン・トッキがRGBマイクロOLED製造用の12インチ蒸着装置を開発し、この市場に参入した。

この装置の特徴は±1μmのアライメントを可能にするため、磁気浮上式アライメントステージとIRカメラを採用している点である。Siウェハの裏面にあるアライメントマークはIRカメラによって認識される。

キャノン・トッキはマスクをウェハに密着させるため、マスク・チルト・トラッキング機構と軽いコンタクト・アライメント機構を導入し、ウェハとマスクの隙間を狭めることでシャドウ影響を最小限に抑えた。

キャノン・トッキはこの蒸着装置と電鋳マスクを用いて製作した3,200ppiのマイクロOLEDの発光写真を提示した。

Choong Hoon YI, CEO/Chief Analyst at UBI Research (choonghoon@ubiresearch.com)

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