数百万個の発光素子の光学・電気特性を、ウエハー検査と最終検査の段階で測定する量産向けプラットフォームが登場した。
取材・分析 UBI Research
エディター 李忠壎（イ・チュンフン）代表・チーフアナリスト
Teradyneは9月21日、MicroLED素子向けの量産用光学検査プラットフォーム「Iris 100」を発表した。新製品はアレイ内の全発光素子を測定し、同社のUltraFLEXplusプラットフォームと連携して、光学検査と電気検査を一つのシステムで行う。
MicroLEDアレイは数十万個から数百万個の個別発光素子で構成される。Teradyneは、研究室向けのベンチ装置だけでは量産に必要な処理能力と素子当たりの検査コストを満たしにくいことを開発の背景に挙げた。
Iris 100は分光器と高解像度カメラでアレイのスペクトル応答を測定する。画素ごとの輝度と均一性も検査し、発光素子単位の状態を記録する。
MicroLED発光素子を光学・電気方式で検査するTeradyne Iris 100。出典：Teradyne
並列検査と画像処理アルゴリズムは、数百万個のMicroLEDを含むアレイ全体を高スループットで解析できるよう設計された。IG-XLソフトウェアは、デッドピクセル、スタックピクセル、クラスター状の欠陥を製造工程の初期段階で検出する。
NISTへのトレーサビリティを備えた校正手順により、ロット、ウエハー、生産拠点間の絶対測定値を関連付ける。装置はウエハー検査と最終検査の双方に対応し、将来は同じ検査工程で光検出器も扱う機能がロードマップに含まれる。
Teradyneが示す用途は、AR向けMicroLEDマイクロディスプレイとAIデータセンター向け光データインターコネクトである。同社は9月21～23日にスペイン・マラガで開催されたECOC 2026のブースでIris 100を紹介した。
UBI Researchの李忠壎（イ・チュンフン）代表・チーフアナリストは、「MicroLEDの量産では、個々の発光素子の性能を迅速に測定し、製造データと結び付ける全数検査能力が重要だ。Iris 100の要点は、光学・電気検査を既存の半導体量産検査プラットフォームに統合した点にある」と説明した。
資料：Teradyne製品資料、Business Wire（2026年9月21日）