한국과 중국에서 4.5G~6G까지 사이즈의 양산용 증착기는 Cannon Tokki 장비가 거의 대부분 사용되고 있다. 하지만 8.5G 이상의 대형 증착기는 선익시스템과 YAS 장비가 주로 사용되고 있으며, 200mm 이하의 소형 증착기는 선익시스템이 거의 독점하다시피 하고 있다. 웨이퍼상에 만들어지는 micro-OLED는 200mm 이하급이기 때문에, 이 시장에서도 선익시스템의 시장 점유율이 과반을 넘고 있는 것으로 알려져 있다.
AR과 MR에 사용되는 micro-OLED는 white OLED + CF 구조와 RGB 구조의 OLED 2 종류가 있다. 고해상도 micro-OLED는 RGB OLED가 대세이다. Micro-OLED는 0.5~2인치 크기이며, 3,000ppi 이상의 해상도를 요구하기 때문에 고정밀의 ±1μm 얼라인 사양이 요구된다.
Cannon Tokki가 RGB micro-OLED 제조용 12인치 증착기를 개발하고 이 시장에 도전장을 내밀었다.
양산 장비 이미지
이 장치의 특징은 ±1μm 얼라인이 가능하게 하기 위해 자기부상 얼라이먼트 스테이지와 IR 카메라를 사용한다. Si 웨이퍼 뒷면에 있는 얼라이먼트 마크는 IR 카메라로서 인식된다.
자기부상 마그네틱 스테이지
Cannon Tokki는 마스크를 웨이퍼에 밀착시키기 위해 마스크 틸트 트래킹 메커니즘과 가벼운 컨텍 얼라인먼트 메커니즘을 도입하여 웨이퍼와 마스크의 갭을 줄여 쉐도우 영향을 최소화하였다.
마스크 틸트 트래킹 메커니즘(a)과 가벼운 컨택 얼라인먼트 메커니즘(b) 개념 그림
Cannon Tokki는 이 증착기에 전주도금 마스크로서 제작한 3,200ppi micro-OLED 발광 사진을 제시했다.
Micro-OLED 발광 사진
유비리서치 이충훈 대표/수석 애널리스트(choonghoon@ubiresearch.com)
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