수백만 개 발광소자의 광학·전기 특성을 웨이퍼와 최종 검사 단계에서 측정하는 양산형 플랫폼이 나왔다.
취재·분석 유비리서치
에디터 이충훈 대표·수석애널리스트
Teradyne는 9월 21일 MicroLED 소자용 양산형 광학검사 플랫폼 Iris 100을 공개했다. 신제품은 어레이 안의 모든 발광소자를 측정하고, 회사의 UltraFLEXplus 플랫폼과 연동해 광학검사와 전기검사를 한 시스템에서 수행한다.
MicroLED 어레이는 수십만 개에서 수백만 개의 개별 발광소자로 구성된다. Teradyne는 연구실용 벤치 장비만으로는 양산에 필요한 처리량과 개당 검사비용을 맞추기 어렵다는 점을 제품 개발 배경으로 제시했다.
Iris 100은 분광기와 고해상도 카메라를 사용해 어레이의 스펙트럼 응답을 측정한다. 픽셀별 휘도와 균일도도 함께 검사해 발광소자 단위의 상태를 기록한다.
MicroLED 발광소자를 광학·전기 방식으로 검사하는 Teradyne Iris 100. 출처: Teradyne
병렬 검사와 영상처리 알고리즘은 수백만 개 MicroLED가 포함된 어레이 전체를 높은 처리량으로 분석하도록 설계됐다. IG-XL 소프트웨어는 데드 픽셀, 스턱 픽셀, 군집 결함을 제조 공정의 이른 단계에서 찾는다.
NIST 추적성을 갖춘 교정 절차는 로트와 웨이퍼, 생산 사이트 사이의 절대 측정값을 연계한다. 장비는 웨이퍼 검사와 최종 검사를 모두 지원하며, 향후 같은 검사 과정에서 광검출기까지 다루는 기능이 로드맵에 포함됐다.
Teradyne가 제시한 적용 분야는 AR용 MicroLED 마이크로디스플레이와 AI 데이터센터용 광학 데이터 인터커넥트다. 회사는 9월 21일부터 23일까지 스페인 말라가에서 열린 ECOC 2026 전시회 부스에서 Iris 100을 소개했다.
이충훈 유비리서치 대표·Chief Analyst는 “MicroLED 양산에서는 개별 발광소자의 성능을 빠르게 측정하고 제조 데이터와 연결하는 전수검사 능력이 중요하다”며 “Iris 100의 핵심은 광학·전기검사를 기존 반도체 양산 검사 플랫폼에 결합한 점”이라고 설명했다.
자료: Teradyne 제품자료·Business Wire(2026.9.21)