ULVAC은 최근 열린 FPD 2025에서 실리콘 기반 micro-OLED 디스플레이 공정 장비와 양산 사례를 공개하며, 메타버스 및 XR 기기 시장을 겨냥한 기술 경쟁력을 선보였다. 이번 전시는 중국 Metaways(浙江宏禧科技有限公司)와의 협력 사례를 중심으로, 실제 양산에 적용된 장비와 공정 솔루션을 나타냈다.

해당 디스플레이들은 초소형 및 고해상도 특성을 바탕으로 AR/VR 스마트글라스, 조종사용 HMD, 적외선 야시장비, 웨어러블 의료기기 등에 활용될 수 있는 제품들이다.

ULVAC은 Micro OLED 제조에서 핵심이 되는 박막 증착 및 패터닝 공정에 대해, 자사의 대표 장비인 SELION-E300, NET-300C, NET-300S를 기반으로 한 솔루션을 제시했다. 이 장비들은 금속과 절연막의 정밀 증착, 저온 PECVD 공정, 패키징을 지원하여, 실리콘 기판 기반의 고해상도 디스플레이 제조에 적합한 고효율·고신뢰성·고생산성을 구현하는 데 강점을 보인다.

협력사인 Metaways는 중국 내에서 Micro OLED 설계 및 모듈화에 특화된 전문 기업으로, AR/VR 제품 양산을 위한 독자 공정과 설계를 보유하고 있다. 특히 중국과학기술대학, 전자과학기술대학, 난징대학 등과 협력해 석·박사급 인재를 확보하며 기술 내재화를 추진하고 있다. 현재는 고해상도 실리콘 OLED 칩 설계에서부터 드라이버 회로, 패키징까지 수직계열화된 제조 체계를 갖추고 있다.

이번 전시 사례는 일본 장비업체인 ULVAC과 중국 신흥 디스플레이 기업 간의 협력을 보여주며, 추후 micro-OLED 시장의 기술 글로벌화와 장비-소자 통합 경쟁을 가속화할 것으로 기대된다.

유비리서치 김준호 애널리스트(alertriot@ubiresearch.com)

유비리서치 마이크로 디스플레이 보고서